签到天数: 4240 天 连续签到: 455 天 [LV.Master]三朝元老
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姚奎鸿(1938— )
/ A9 G, M% ~6 H- r3 _浙江萧山人。材料研究专家。6 h3 \5 X% l# z! i' t
1962年,姚奎鸿于浙江大学无线电工程系毕业。1985年赴美国麻省理工学院材料科学工程系,参加电子材料晶体生长实验室的高纯度、高完整半导体晶体生长新法的研究。1988年回国,任浙江大学半导体材料研究所副所长。1 a" D* k3 f& |5 B$ z/ f
姚奎鸿主要研究高纯度、高完整半导体材料的制取,包括高纯度材料的提纯、合成、晶体生长、晶体缺陷、半导体中微区微量杂质及缺陷的分析及材料性能评估。姚奎鸿进行高纯度硅烷提纯,近本征高纯度辐射探测器及硅单晶体制取和COMS集成电路用硅材料评估等,获1980年国家发明三等奬、1985年浙江省科技进步一等奬、上海市科技进步二等奬。4 ?9 z$ U5 T; p8 n) l
姚奎鸿着有《硅烷法原理,工艺及设备》等,发表论文多篇。 |
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